urpass复合磁控溅射镀膜机 离子轰击系统

●设备主要由真空腔体、真空系统、工件盘系统、烘烤系统、溅射系统、过渡仓、磁力机械手、离子轰击系统、充气系统和在线测量系统组成，同时匹配空气压缩气体气源和水冷系统，可根据客户使用需求定制。

●真空腔体：φ650x700双层水冷；（可根据实际需求定制）

●真空系统：分子泵+低温泵+罗茨泵+机械泵复合真空系统；

●真空抽速：1600L/S，进口全量程复合真空计，全金属防爆真空规；

●极限真空：6.7X10-5Pa；（根据客户选择主泵确定）

●磁控靶组件：4个矩形靶，3个圆形靶，根据客户实际需要匹配中频、射频、脉冲直流溅射电源；

●离子源：1套线性离子源，匹配专用电源；

●气路：4路反应气体，进口质量流量计，1路毛细保护气路；

●烘烤温度：300℃，不锈钢铠装加热器，可拆卸快装结构；

●工件盘：导轨多工位行星工件盘2套，工件盘装夹移动小车一辆；

●控制系统：西门子PLC+西门子人机界面+工业控制计算机。