surpass工业级电阻电子束蒸发 高精密光通讯产品镀制光学膜

本设备适用于高精密光通讯产品镀制光学膜， 电学膜、金属膜、激光膜、冷光膜、分光膜、增透膜、各种滤光片、玻璃片及塑胶（树脂）件上镀制增透膜和截止膜等各种膜系镀膜。为满足广大用户的不同需求，我公司可接受多种形式的真空镀膜机的定制要求，包括对真空室体尺寸、真空系统配置、工件夹具系统、工件烘烤系统、膜厚监控系统、蒸发源系统、充气系统、离子源系统以及电气控制系统的特殊定制。

1.采用箱式结构，腔体尺寸可以定制，直径350-2600mm，真空系统后置，便于操作和维修；特别适合放置在净化间内做穿墙式安装。

2.设备真空系统抽速大，具有抽气时间短，真空度高，生产周期短等优点，可以选配大型扩散泵系统、分子泵系统、低温泵系统。

3.采用不锈钢铠装加热器上烘烤，也可选配红外辐射加热器，烘烤温度均匀，寿命长，可达到烘烤温度350℃，烘烤均匀性270℃±10℃。

4.电阻蒸发、电子束蒸发、有机蒸发、旋转组蒸任意选择，有效匹配，满足不同需求的镀膜工艺。

5.工件转动采用上部中心驱动，轴承带水冷，磁流体密封，转动平稳可选配行星工件盘或球形工件盘。

6.采用瑞士进口石英晶体膜厚控制仪，可实现镀膜过程的自动控制。

7.采用西门子的镀膜控制系统，人机操作界面美观实用，系统稳定，可实现系统的手动、半自动和全自动操作。

8.具有国内大口径精密光学镀膜机和刻蚀机的核心专利。

多年来我公司先后开发了350、450、500、550、630、700、800、900、1100、1250、1300、1500、1800、2200、2500尺寸系列的箱式真空镀膜机。